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一种光催化活性碳掺杂氧化钛薄膜的制备方法

分类:B01J21/18

发明人:文峰,冷永祥,谢东,赵安莎,张聪

专利权人:海南大学

申请号:CN201110405531.5申请日期:2011-12-08

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价值度评分:50

本发明涉及一种光催化活性碳掺杂氧化钛薄膜的制备方法。其特征在于:采用CO2气体为碳源,高纯金属钛靶为溅射靶,在不锈钢或玻璃基片上制备一种光催化活性碳掺杂氧化钛薄膜的方法,具体步骤如下:a、首先将镜面不锈钢基体进行氮离子注入强化,提高不锈钢基片表面的强度;b、将氮离子强化后的不绣钢基片或玻璃基片固定在靶台上,抽真空到10-3Pa,通入氩气对基片进行5-15分钟的清洗,然后对靶材进行2-8分钟的溅射清洗;c、保持氩分压在0.3-0.7Pa,通入CO2气体,使真空室内分压达到0.4-0.9Pa,保持靶基距在50-100mm。开启溅射电源,控制溅射电流3A,基体偏压-150V,溅射沉积10-120分钟;d、溅射沉积过程结束后,保持真空冷却至室温后取出制备的样品。本发明的有益效果是:无需制备含碳复合靶,工艺稳定重现性好,气源来源方便,制备方法简单,镀膜成本低;还能解决光催化剂固载化的问题。
公告日 法律状态 法律状态信息
专利价值度评分
技术价值
经济价值
法律价值
总评:50
该专利价值较低(仅供参考)

该专利的技术、经济、法律价值经系统自动评估后的总评得分较低,可以重点关注其公开的技术内容。

本专利文献包含【2个技术分类】,从一定程度上而言上述指标的数值越大可以反映出所述专利的技术保护及应用范围越广。【被引用次数1次】专利被引次数越多越能能够体现出该专利在相关技术领域研发中所发挥的基础性作用,代表着专利公开的内容有更多的产业利用价值。【专利权的维持时间2年】专利权的维持时间越长,其价值对于权利人而言越高。

技术价值:35

该指标主要从专利申请的著录信息、法律事件等内容中挖掘其技术价值,专利类型、独立权利要求数量、无效请求次数等内容均可反映出专利的技术性价值。技术创新是专利申请的核心,若您需要进行技术借鉴或寻找可合作的项目,推荐您重点关注该指标。

部分指标包括:

授权周期(发明)0个月

独立权利要求数量0个

从属权利要求数量0个

说明书页数0页

实施例个数0个

发明人数量5人

被引用次数1次

引用文献数量2个

优先权个数0个

技术分类数量2个

无效请求次数0次

分案子案个数0个

同族专利数0个

专利获奖情况

保密专利的解密

经济价值:7

该指标主要指示了专利技术在商品化、产业化及市场化过程中可能带来的预期利益。专利技术只有转化成生产力才能体现其经济价值,专利技术的许可、转让、质押次数等指标均是其经济价值的表征。因此,若您希望找到行业内的运用广泛的热点专利技术及侵权诉讼中的涉案专利,推荐您重点关注该指标。

部分指标包括:

申请人数量1人

申请人类型院校;

许可备案次数0次

权利质押次数0次

权利转移次数0次

是否海关备案

法律价值:8

该指标主要从专利权的稳定性角度评议其价值。专利权是一种垄断权,但其在法律保护的期间和范围内才有效。专利权的存续时间、当前的法律状态可反映出其法律价值。故而,若您准备找寻权属稳定且专利权人非常重视的专利技术,推荐您关注该指标。

部分指标包括:

存活期/维持时间2

法律状态无权-视为撤回

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